RF-strömförsörjning
-
RLS Series RF-strömförsörjning
RLS-seriens RF-strömförsörjning antar den nuvarande stabila och pålitliga effektförstärkaren och företagets centrala DC-kontrollsystem, så att produkten har mycket stabil prestanda och hög produkttillförlitlighet.Anta kinesiska och engelska displaygränssnitt, lätt att använda.Används huvudsakligen inom solcellsindustrin, plattskärmsindustrin, halvledarindustrin, kemisk industri, laboratorium, vetenskaplig forskning, tillverkning, etc.
-
RMA Series Matchers
Den kan anpassas till RLS-seriens RF-strömförsörjning och används ofta i plasmaetsning, beläggning, plasmarengöring, plasmaavsöndring och andra processer.När den används ensam kan den användas tillsammans med andra tillverkares RF-nätaggregat.
-
RHH Series RF-strömförsörjning
RHH-seriens RF-strömförsörjning är beroende av mogen RF-genereringsteknik för att ge kunderna RF-strömförsörjning med större kraft, högre precision och snabb respons.Med fas kan ställas in, pulsstyrbar, digital inställning och andra funktioner.Tillämpliga områden: solcellsindustri, plattskärmsindustri, halvledarindustri, kemisk industri, laboratorium, vetenskaplig forskning, tillverkning, etc.
Tillämpliga processer: plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD), plasmaetsning, plasmarening, radiofrekvent jonkälla, plasmadiffusion, plasmapolymerisationsförstoftning, reaktiv sputtering, etc.