MSB-serien medellång frekvens sputtering strömförsörjning

Kort beskrivning:

RHH-seriens RF-strömförsörjning är beroende av mogen RF-genereringsteknik för att ge kunderna RF-strömförsörjning med större kraft, högre precision och snabb respons.Med fas kan ställas in, pulsstyrbar, digital inställning och andra funktioner.Tillämpliga områden: solcellsindustri, plattskärmsindustri, halvledarindustri, kemisk industri, laboratorium, vetenskaplig forskning, tillverkning, etc.

Tillämpliga processer: plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD), plasmaetsning, plasmarening, radiofrekvent jonkälla, plasmadiffusion, plasmapolymerisationsförstoftning, reaktiv sputtering, etc.

Produktdetalj

Produkttaggar

Skicka e-post till oss

Funktioner

● Halvstens- och rackmonteringsstilar

● Anta full digital kontroll, med bekväm och rik funktionsmeny

● Frekvensinställning, puls- och pulssynkroniseringsfunktioner

● Med CEX-fassynkroniseringsfunktion

● Perfekt skyddsfunktion

Produktdetalj

Inmatning	Inspänning: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Specialspecifikationer kan anpassas)
Inmatning	Ingångsfrekvens: 47~63Hz
Produktion	Utgångsfrekvens: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Inställningsområde: ±5 %
	Uteffekt: 1,5~5kW
	Regleringsområde för uteffekt: 1~100%
	Utgångsimpedans: 50Ω+j0
	Utgångsgränssnitt: typ N
	Utgångsläge: kontinuerlig, puls
	Pulsfrekvens: 100Hz~100kHz
	Arbetscykel: 5~95%
Prestandaindex	Effektfaktor: 0,98
	Frekvensstabilitetsnoggrannhet: ±0,005 %
	Verkningsgrad: 75 % (vid nominell effekt)
	Harmonisk: ＜-45dBc
	Stray: ＜-50dBc
	Externt kontrollgränssnitt: analog kvantitet, kommunikation och synkronisering
	Kommunikationsläge: Standard RS485 kommunikationsgränssnitt;Valfri Ether CAT, industriellt Ethernet, etc.
Obs: produkten fortsätter att förnya sig och prestandan fortsätter att förbättras.Denna parameterbeskrivning är endast för referens.