MSB-serien medellång frekvens sputtering strömförsörjning
-
MSB-serien medellång frekvens sputtering strömförsörjning
RHH-seriens RF-strömförsörjning är beroende av mogen RF-genereringsteknik för att ge kunderna RF-strömförsörjning med större kraft, högre precision och snabb respons.Med fas kan ställas in, pulsstyrbar, digital inställning och andra funktioner.Tillämpliga områden: solcellsindustri, plattskärmsindustri, halvledarindustri, kemisk industri, laboratorium, vetenskaplig forskning, tillverkning, etc.
Tillämpliga processer: plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD), plasmaetsning, plasmarening, radiofrekvent jonkälla, plasmadiffusion, plasmapolymerisationsförstoftning, reaktiv sputtering, etc.