Mikrovågsströmförsörjning är en ny typ av mikrovågsströmförsörjning baserad på IGBT högfrekvent inverterteknik.Den integrerar anodhögspänningsströmförsörjning, filamentströmförsörjning och magnetfältsströmförsörjning (förutom 3kW mikrovågsströmförsörjning).Vågmagnetronen ger arbetsförhållanden.Denna produkt används i MPCVD, mikrovågsplasmaetsning, mikrovågsplasmaavsläckning och andra områden.